單頻納米激光干涉儀非線性誤差及其修正方法介紹 介紹了單頻納米激光干涉儀的非線性誤差,分析了各種典型的單頻激光干涉儀非線性誤差修正方法,如Heydemann方法、頻譜分析方法、基于干涉信號波峰和波谷的方法、基于神經網絡的NN方法.在基于干涉信號波峰和波谷的方法的基礎上,提出了一種改良方法(P方法),試驗結果表明,P方法具有運算簡單、誤差修正精度高和抗干擾性能較強等優(yōu)點,可以在非計量環(huán)境下用該法對干涉儀的非線性誤差進行修正,實用價值較大.
